ナノリソグラフィーは、ナノメートルスケールの構造の作製と応用に関するナノテクノロジーの分野であり、これは少なくとも 1 つの横方向の寸法が 1 ～ 100 nm のパターンを意味します。ナノリソグラフィーは、顕微鏡レベルでエッチング、書き込み、または印刷する技術および科学であり、文字の寸法はナノメートル (10 -9メートル、または 100 万分の 1 ミリメートルの
単位) のオーダーです。
ナノリソグラフィーの関連ジャーナル
Nano Research、Scripta Materialsia、Nanoscale、Lab on a Chip - Miniaturization for Chemistry and Biology